產品概述

USHIO UVL-7000M4-0是日本牛尾公司推出的一款超高壓紫外線燈管，專為精密光刻工藝而設計。該產品在半導體制造、液晶顯示器生產和印刷電路板制作等領域發(fā)揮著關鍵作用，是微細電路形成過程中的核心組件。

作為高壓汞燈的一種，UVL-7000M4-0采用了超高壓短弧設計，能夠有效利用365nm-436nm波段的紫外線，具有壽命長、輻照度穩(wěn)定、亮度高等特點，能滿足現(xiàn)代電子產業(yè)對精密光刻的苛刻要求。

技術特點與優(yōu)勢

的光學性能

UVL-7000M4-0顯著的特點是其點狀光源特性?；⌒纬叽绶浅＝咏硐朦c光源，這使得光線擴散更加容易且均勻，能夠獲得高質量的平行光，從而在光刻過程中實現(xiàn)高的分辨率。對于追求微米級甚至納米級電路形成的現(xiàn)代電子制造來說，這種光學特性至關重要。

廣泛的波長覆蓋

該燈管經過專門開發(fā)，可有效利用紫外線波長中的三條主要射線（365nm、436nm和405nm），覆蓋了光刻工藝中常用的光譜范圍。這種多波長協(xié)調輸出確保了在各種光刻膠材料上都能獲得優(yōu)異的曝光效果。

高照度與長壽命

UVL-7000M4-0具備高照度輸出，能夠充分發(fā)揮現(xiàn)有設備的最大性能。通過使用這種高強度燈管，可以有效提升設備的生產效率和生產能力（Throughput）。同時，該產品還提供了持久的使用壽命，普通型保用800小時，正?？墒褂?000小時以上；長效型保用1500小時，正常使用可達2000小時以上。

功率范圍齊全

牛尾公司提供了從100W到35kW的齊全產品系列，滿足了不同規(guī)模設備和工藝需求。這種廣泛的功率范圍使得UVL-7000M4-0能夠適應從研發(fā)到大規(guī)模生產的各種應用場景。

主要應用領域

USHIO UVL-7000M4-0紫外線燈管在多個高科技制造領域有著廣泛應用：

• 半導體回路形成：為半導體元件的微細電路光刻提供高性能曝光光源

• 液晶顯示器制造：用于液晶面板、彩色濾光片以及PDP（等離子顯示器）的回路形成

• 印刷電路板制作：應對PCB大型化和線路細微化的趨勢，提供均勻高效的曝光

• MEMS制造：為微機電系統(tǒng)的開發(fā)與生產提供可靠的光刻解決方案

• OLED和觸摸屏生產：適應新型顯示技術的曝光需求

安裝與維護指南

安裝注意事項

在安裝UVL-7000M4-0燈管時，必須遵循規(guī)范流程，確保安全和性能：

• 佩戴防護用具：操作時應戴上棉手套，避免裸露的皮膚直接接觸UV燈泡。皮膚上的化合物受熱時可能在UV燈表面形成腐蝕，弄臟的燈泡可能會損壞

• 清潔準備工作：在插入新的UV燈泡前，需要打開UV遮板，用浸濕異丙醇的無絨抹布清潔反光罩表面

• 精準安裝：拿起新燈泡時應持陶瓷端，一次一端將燈泡插入固定器卡圈內，確保燈泡居中，兩端牢牢固定在卡圈內

維護要點

定期維護是保證燈管性能和使用壽命的關鍵：

• 清潔周期：至少在每次更換燈泡時清潔反光罩，否則UV燈的固化能力將會下降

• 全面清潔：使用浸濕異丙醇的無絨抹布清潔UV燈座鏟斗底部的石英窗口兩側

• 專業(yè)維護：建議由專業(yè)技術人員進行維護操作，避免因操作不當造成的設備損壞或性能下降

技術規(guī)格

根據(jù)搜索結果，UVL-7000M4-0的主要技術參數(shù)如下：

總結

USHIO UVL-7000M4-0紫外線燈管憑借其優(yōu)異的光學性能、穩(wěn)定的輸出特性和長使用壽命，成為了光刻領域的高品質光源解決方案。特別是在當前電子設備向更小、更輕、更高效發(fā)展的趨勢下，對精密光刻工藝提出了更高要求，UVL-7000M4-0這類高性能紫外線燈管的作用將愈發(fā)重要。

無論是提升現(xiàn)有設備的生產效率，還是開發(fā)新一代光刻設備，USHIO UVL-7000M4-0都能提供可靠的光源支持，助力半導體、顯示器和電子電路制造行業(yè)實現(xiàn)技術創(chuàng)新和工藝突破。