在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和環(huán)境監(jiān)管中，從污水處理廠到半導(dǎo)體潔凈室，HORIBA的氨監(jiān)測技術(shù)正靜默地守護(hù)著我們的環(huán)境和生產(chǎn)安全。

在環(huán)境監(jiān)測和工業(yè)過程控制領(lǐng)域，氨氣（NH3） 和氨氮（NH4-N） 的精確監(jiān)測至關(guān)重要。無論是污水處理廠的曝氣池、半導(dǎo)體生產(chǎn)的潔凈室，還是工業(yè)煙氣的排放，氨濃度的精準(zhǔn)測量都直接關(guān)系到環(huán)境安全、生產(chǎn)效率和合規(guī)性。

日本HORIBA作為分析測量技術(shù)的全球領(lǐng)導(dǎo)，憑借其先進(jìn)的技術(shù)和豐富的產(chǎn)品線，為各行業(yè)提供了全面的環(huán)境氨監(jiān)測解決方案。

01 污水處理：HC-200NH氨氮分析儀

在污水處理領(lǐng)域，HORIBA的HC-200NH氨氮分析儀 展現(xiàn)出性能。這款現(xiàn)場安裝型分析儀采用電極法氨氮測量原理，專門設(shè)計用于污水處理曝氣池的連續(xù)監(jiān)測。

其量程覆蓋NH4-N：0-1000mg/L，顯示范圍更可達(dá)0-2000mg/L，適應(yīng)不同濃度的監(jiān)測需求。

HC-200NH的設(shè)計充分考慮了實際應(yīng)用的便捷性。它采用無需工具即可更換電極的設(shè)計，大大簡化了維護(hù)工作。

配備的新型超聲波清洗器（可選）能夠在不對傳感器造成傷害的情況下進(jìn)行連續(xù)清洗，有效防止長期粘附污染。

該設(shè)備的自診斷功能實現(xiàn)了連續(xù)測量過程中的傳感器劣化診斷，降低了測量突然中斷的風(fēng)險，提供更可靠的測量保障。

在東京都政府下水道局的實地評估中，HC-200NH在6個月的評估期內(nèi)實現(xiàn)了穩(wěn)定測量，無需更換傳感器，證明了其長期可靠性。

02 環(huán)境空氣監(jiān)測：APNA-370/CU-2環(huán)境氨監(jiān)測儀

對于環(huán)境空氣中的氨濃度監(jiān)測，HORIBA推出了APNA-370/CU-2環(huán)境氨監(jiān)測儀。該設(shè)備采用化學(xué)發(fā)光法（CLD） 測量原理，能夠檢測經(jīng)氧化物催化劑處理后增加的氮氧化物（NOx），并以氨（NH3）濃度表示。

HORIBA的錯流調(diào)制方法確保了長期穩(wěn)定性和可靠的測量值，最小檢測靈敏度達(dá)到5ppb，能夠精確捕捉環(huán)境中的微量氨污染。

該監(jiān)測儀適用于大氣環(huán)境監(jiān)測、廠界周邊氨濃度監(jiān)測等場景，為環(huán)境監(jiān)管提供可靠的數(shù)據(jù)支持。其穩(wěn)定的性能使其能夠在各種環(huán)境條件下持續(xù)工作，保證監(jiān)測數(shù)據(jù)的連續(xù)性和準(zhǔn)確性。

03 工業(yè)煙氣監(jiān)測：ENDA-C2000氨分析系統(tǒng)

在工業(yè)煙氣監(jiān)測領(lǐng)域，HORIBA的ENDA-C2000氨分析系統(tǒng)專門用于監(jiān)測氨干式脫硝裝置排放尾氣中的殘留NH3濃度。該系統(tǒng)采用無漂移新型化學(xué)發(fā)光法分析儀（CLA），檢測器實現(xiàn)了高度優(yōu)化。

ENDA-C2000實現(xiàn)了NH3、NOx最小量程0-10ppm，標(biāo)準(zhǔn)量程為20-100ppm，適用于不同濃度的煙氣監(jiān)測。

其再現(xiàn)性為±0.5%F.S.（周圍溫度-5～40℃的情形），保證了測量結(jié)果的可靠性。

該系統(tǒng)采用前面操作方式，完善了自我診斷功能，力求使用便利。它可監(jiān)測脫硝催化劑的劣化、限制NH3的注入量、防止硫酸銨結(jié)晶物的生成等，在設(shè)備的監(jiān)測、控制方面發(fā)揮重要作用。

04 半導(dǎo)體行業(yè)：潔凈室氨濃度監(jiān)測

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，即使?jié)舛鹊椭?span style="font-weight: 600;">十億分之一（ppb）量級的氨氣也會導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量問題。當(dāng)光刻膠中光致產(chǎn)生的酸被潔凈室空氣中的氨氣（NH?）中和時，就會產(chǎn)生缺陷，導(dǎo)致線寬和線形結(jié)構(gòu)劣化。

HORIBA針對半導(dǎo)體行業(yè)的特殊需求，開發(fā)了多點AMC監(jiān)測系統(tǒng)。該系統(tǒng)由線路選擇器與AMC監(jiān)測系統(tǒng)構(gòu)成，通過設(shè)置多個采樣點，顯著提升分析的空間分辨率，實現(xiàn)污染源的早期發(fā)現(xiàn)及快速處置。

與傳統(tǒng)人工分析方法相比，HORIBA的監(jiān)測系統(tǒng)能夠即時提供測量數(shù)據(jù)，避免污染檢測延遲，防止污染在潔凈室擴散并造成產(chǎn)品良率下降。

05 多參數(shù)氣體分析：VA-3000/VS-3000系列

對于需要同時監(jiān)測多種氣體的復(fù)雜應(yīng)用場景，HORIBA提供了VA-3000/VS-3000系列多參數(shù)氣體分析儀。這些分析儀采用多種測量原理，包括NDIR（非分光紅外吸收）、CLA（化學(xué)發(fā)光法）、MPA（磁壓法） 等。

該系列的重復(fù)性為+/- 0.5% F.S.，線性為+/- 1.0% F.S.，響應(yīng)時間T90在30秒以內(nèi)，保證了測量結(jié)果的高精度和快速響應(yīng)。

VA-3000/VS-3000系列可測量包括CO、CO2、NOx、SO2、CH4等多種氣體成分，量程比CLA可達(dá)1:100，適應(yīng)不同濃度的測量需求。

這些分析儀采用19英寸機柜設(shè)計，支持模擬輸出（DC 4-20mA）和數(shù)字通訊（RS-232C），便于系統(tǒng)集成和數(shù)據(jù)傳輸。

06 技術(shù)創(chuàng)新與核心

HORIBA在氨監(jiān)測領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢源于其持續(xù)的創(chuàng)新投入。公司在氮化合物分析領(lǐng)域擁有多項核心，其中一項關(guān)于流體樣品濃度監(jiān)測的詳細(xì)闡述了氨監(jiān)測的技術(shù)原理。

該提到，對于NH3等強吸附性化合物的測量，處理手段需要具備高速響應(yīng)性。中發(fā)現(xiàn)，通過在下游流道設(shè)置突出部分或階梯部分，形成層流然后轉(zhuǎn)變?yōu)橥牧?，邊界層氣體與層外氣體混合轉(zhuǎn)移，可以在平行于氣體流動的流道中快速加熱。

這種機制為分析儀提供了高的性能，特別是在需要高速度響應(yīng)的應(yīng)用中。中還描述了一種使用化學(xué)發(fā)光探測器（CLD）作為NO分析儀的氮化合物分析儀配置，能夠輕松準(zhǔn)確地測量NH3和NO2這兩種組分。

從污水處理廠到半導(dǎo)體潔凈室，從環(huán)境空氣到工業(yè)煙氣，HORIBA的氨監(jiān)測技術(shù)正在各個領(lǐng)域守護(hù)著環(huán)境和生產(chǎn)安全。 其產(chǎn)品不僅提供了精確的測量數(shù)據(jù)，更通過智能化的自診斷功能、簡易的維護(hù)設(shè)計和堅固的結(jié)構(gòu)可靠性，為用戶提供了全面的解決方案。

隨著環(huán)境法規(guī)日益嚴(yán)格和工業(yè)過程要求不斷提高，HORIBA憑借其持續(xù)創(chuàng)新能力，將繼續(xù)環(huán)境氨監(jiān)測技術(shù)的發(fā)展方向，為全球環(huán)境保護(hù)和工業(yè)升級提供技術(shù)支持。